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線體式MEMS傳感器測試校準設備
用于溫度傳感器、濕度傳感器和傳感器的校準和測試；設備內置智能數據分析模塊，可對測試數據進行自動處理、分析，生成測試報告。采用最新的半導體控溫技術和雙重算法，實現多點快速控溫、斜率控溫等多種控溫邏輯；溫度、壓力可獨立無極調節。
產品特性
Characteristics
  • 控溫范圍
    -40~125℃（精度±0.5℃）；
    11
  • 壓力范圍
    1.5bar
    22
  • 支持拓展
    測試段支持拓展；
    33
  • 最高支持
    最高可支持768sites并測；
    44
  • 上料方式
    支持Wafer ring，carrier，Jedec Tray, 編帶；
    55
  • 下料方式
    支持carrier，Jedec Tray, 編帶；
    66
  • 選配支持
    支持選配AOI
    77